Skip to content
Semiconductor Manufacturing: Application Solutions for Semiconductor Manufacturing คือหัวใจสำคัญของนวัตกรรมยุคใหม่
กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กลายเป็นหัวใจสำคัญที่ขับเคลื่อนนวัตกรรมทั่วโลก การเลือกใช้ Application Solutions ที่เหมาะสมจึงเป็นกุญแจสำคัญสู่ความสำเร็จ
กว่าทศวรรษที่ผ่านมา Bürkert Fluid Control Systems ได้ทำหน้าที่เป็นพันธมิตรเชิงกลยุทธ์ระดับโลกในการจัดหาโซลูชันให้แก่โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ ด้วยกลุ่มผลิตภัณฑ์ที่ครบครันทั้งวาล์ว เซนเซอร์ และชุดควบคุม ประกอบกับความเชี่ยวชาญด้านวิศวกรรมภายในองค์กรและการผลิตชุดท่อรวม (Manifold) เฉพาะด้าน ช่วยให้ Bürkert สามารถสร้างสรรค์โซลูชันที่ออกแบบมาโดยเฉพาะให้เหมาะสมกับการใช้งาน ทั้งในด้านการเติมก๊าซเฉื่อยปกคลุมถังเก็บสารเคมี ระบบน้ำหล่อเย็นและการตรวจวัดประสิทธิภาพ การระบายความร้อนในกระบวนการผลิต และการบำบัดก๊าซเสียภายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
เพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัยของกระบวนการผลิตภายในห้องสะอาด (Cleanroom) การใช้สารตัวกลางที่มีความบริสุทธิ์สูงอย่างมีประสิทธิภาพในกระบวนการจัดการของเหลว ระบบหล่อเย็นและการควบคุมอุณหภูมิที่เสถียรและแม่นยำ ตลอดจนการควบคุมก๊าซและของเหลวในส่วนสนับสนุนการผลิต (Subfab) อย่างปลอดภัยและเที่ยงตรง Bürkert จึงขอนำเสนอโซลูชันที่หลากหลายทั้งแบบมาตรฐานทั่วไปและแบบที่ปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า เพื่อรองรับการใช้งานทั้งในระบบหลักและระบบสนับสนุน
โซลูชันหลัก (Primary Solutions) มีครอบคลุมตั้งแต่ชุดท่อรวมควบคุมแบบหลายช่องสัญญาณ (Multi-channel control manifolds) วาล์วควบคุมด้วยมอเตอร์ เซนเซอร์ตรวจวัด (ทั้งแรงดัน อุณหภูมิ และอัตราการไหล) ไปจนถึงโซลูชันระบบการเติมก๊าซเฉื่อยปกคลุมถังเก็บสารเคมีแบบครบวงจร
- Orifice sizes 1 to 10 mm
- Low power consumption
- Actuator isolated from flow path
- Excellent range and fast response times
- Versions: Standard, positioner, process controller and high pressure version up to 22 bar
- Orifice sizes 8 to 25 mm
- Low power consumption
- Actuator isolated from flow path
- Excellent range and fast response times
- Versions: Standard, positioner, process controller
BURKERT PROFINET
- No obstacles inside the measuring tube, compact, lightweight and low energy consumption
- Conforms to hygienic requirements, CIP/SIP compatible
- Ideal for liquids with low or no conductivity
- Digital communication, parameterisation via Communicator, display
- Optional: ATEX/IECEx certification, II 3G/D
จุดเด่นของ Type 8840 - Modular Process Valve Cluster
- No assembly effort
- Valve cluster ready for installation
- No piping between the valves needed
- Trusted actuators for simple automation
- Compact design without any potential leakage
โซลูชันรอง (Secondary Solutions) ครอบคลุมกลุ่มผลิตภัณฑ์วาล์วและชุดควบคุมที่หลากหลาย ตั้งแต่โซลินอยด์วาล์วเปิด-ปิด วาล์วลูกสูบเปิด-ปิด (Angle Seat Valve) ชุดควบคุมอัตราการไหลของมวลก๊าซ (Mass Flow Controllers) ไปจนถึงชุดท่อรวมสำหรับระบบควบคุมทางลม (Pneumatic Airline Manifolds)
BURKERT Germany FLOW
Burkert – Type 8030 Inline Flowmeter for Continuous Measurement
- Economical integration into pipe systems
- 3-wire frequency-pulse variant for direct connection to a PLC (PNP and NPN)
- Simple connection to Bürkert evaluation devices in a separate variant
- HT variant available for high temperatures and pressure (max. 125°C/max. 40 bar)
- การโฟกัสสัญญาณเรดาร์ที่ยอดเยี่ยมและไดนามิกการวัดสูง
- ปรับได้ผ่านโมดูลแสดงผล/การกำหนดค่าและปุ่ม หรือผ่านบลูทูธ
- การวัดระดับการบรรจุต่อเนื่องสูงสุด 120 เมตร, 4…20 mA, 2 สาย
- การเชื่อมต่อกระบวนการที่ใช้ได้: ขายึด, เกลียว (G, NPT 3/4 และ 1 1/2), หน้าแปลน (DN50, 2″ ASME), แคลมป์ (2″)
- Simulation of process values for diagnostics
- Perfect for clean water and slightly concentrated liquids
- Compact measurement device for direct connection to PLC
- Universal process connection, three different cell constants to cover a wide range of applications such as reverse osmosis
- Parameterisation, calibration and transfer of parameterisation data all possible thanks to a removable display/configuration module
BURKERT Germany : Pressure
- Ceramic/thick film measuring cell
- 2-wire version for 4...20 mA output
- Compact, stable construction for the highest operational reliability
BURKERT PROFINET
Burkert – Type 8619 multiCELL Multi Channel and Multi Function Transmitter / Controller
- Functionality extendable by software options
- Hardware extension possibilities (up to 6 free slots)
- Industrial Ethernet (Modbus TCP, PROFINET or EtherNet/IP) option available
- Compatible with most common flow, pH/ORP, chlorine and conductivity sensors
- Simple, intuitive user interface with a large adjustable backlit graphics display (4 user defined views)
- Easy diagnostics via LC display
- Safety-related shut-off of valves possible
- Process reliability through pneumatic functions
- Explosion-proof variants according to ATEX / IECEx Zone 2
- Optimized for installation at the bottom of the control cabinet
จุดเด่นของ Type 8742
- Long-term stability of the flow calibration
- Nominal flow ranges from 0.010 l/min to 160 l/min
- Easy device exchange due to configuration memory
- Optional: ATEX II Cat. 3G/D or USP Class VI, FDA, EG 1935 conformity
- Highest measuring accuracy and repeatability with very fast response times
BURKERT Germany FLOW
Burkert – Type 8756 – Mass Flow Controller (MFC) / Mass Flow Meter (MFM) for Liquids
- Suitable for numerous liquids
- Highly resistant wetted materials
- Very high accuracy and measuring range
- Flow measurement / control up to 25 kg/h
- High long-term stability, no zero-point adjustment necessary
- Ratio control function
- Continuous, 2-point, 3-point and On/Off control
- Sensor inputs (4-20 mA, 0-10 V, frequency, RTD)
- Control of proportional, process and motor valves
- Bürkert proportional valves and flow meters are memorized
อ้างอิง : BurkertThailand, Semiconductor Digest